特許
J-GLOBAL ID：200903094520112731
静電駆動,静電検出式の角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-277611
公開番号（公開出願番号）：特開2000-105124
出願日： 1998年09月30日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：
【要約】【課題】 静電駆動&静電検出方式の角速度センサのS/Nの向上。【解決手段】 y平行辺Aを含む第1ル-プA-28-29-Eと、第3ル-プB-27-30-Fとを有し、x方向およびその直交方向に振動可に、基板100で浮動支持された導電性の振動部材25〜32;第1ル-プ外にあって辺Aに対向しそれをx方向駆動する第1駆動電極35,第1ル-プ内にあって辺Aに対向しそれにx方向駆動する第2駆動電極36;および、第3ル-プ外,内の振動変位検出用第1検出電極37,第2検出電極38;を備える静電駆動,静電検出式の角速度センサ(図1)において:振動部材25〜32が、第1検出電極37を第4閉ル-プB-G1内とし、第1駆動電極35を第2閉ル-プA-G2内とするための静電シ-ルド用ガ-ド枠G1,G2を含む。基板100は、ガ-ド枠G1,G2に対向する、静電シ-ルド用導電層C11,C15を有する。
請求項（抜粋）：
y方向に延びる辺を含む閉ル-プを有し、x方向およびそれに直交する方向に振動可に、基板で浮動支持された導電性の振動部材;前記閉ル-プの外にあってy方向に延びる前記辺に対向しそれにx方向駆動用の静電気力を与えるための駆動用第1固定電極および前記閉ル-プの中にあってy方向に延びる前記辺に対向しそれにx方向駆動用の静電気力を与えるための駆動用第2固定電極;および、前記振動部材に角速度が加わることによる該振動部材の、x方向と直交する方向の変位を静電検出により検出するための、検出用固定電極;を備える静電駆動,静電検出式の角速度センサにおいて:前記振動部材が、駆動用第1固定電極がその中となるもう1つの閉ル-プを含むことを特徴とする、静電駆動,静電検出式の角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2F105BB02
, 2F105BB03
, 2F105CC01
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
, 2F105CD13
, 2F105CD20
