特許

J-GLOBAL ID：200903094520770194

静電容量型加速度センサ

発明者： 鈴木 和詞 ,  藤浪 直宏
出願人/特許権者： スター精密株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人はるか国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-185677
公開番号（公開出願番号）：特開2005-017227
出願日： 2003年06月27日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：

【課題】検出電極と可撓板との短絡を防止するとともに、検出電極のための絶縁層の厚みのばらつきによるセンサ出力特性のばらつきをなくした静電容量型加速度センサを得る。【解決手段】加速度を受けて変位する導電性材からなる可撓板30と、前記可撓板30と空隙をもって対向して設けられた検出電極E21、E22,E25,E41,E42,E45を有する導電性パターン層20,40と、該導電性パターン層20,40の前記検出電極E21、E22,E25,E41,E42,E45を除く上面の少なくとも一部に設けた絶縁層26,46と、を備える静電容量型加速度センサとする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

加速度を受けて変位する導電性材からなる可撓板と、 前記可撓板と空隙をもって対向して設けられた検出電極を有する導電性パターン層と、 該導電性パターン層の前記検出電極を除く上面の少なくとも一部に設けた絶縁層と、を備えることを特徴とする静電容量型加速度センサ。

IPC (1件)：

G01P15/125

FI (2件)：

G01P15/125 Z ,  G01P15/00 K

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 半導体加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-293179   出願人：オムロン株式会社