特許
J-GLOBAL ID：200903094521309806
分子線セル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-295267
公開番号（公開出願番号）：特開平9-142985
出願日： 1995年11月14日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：
【要約】【課題】 表面欠陥がなく、高純度および大面積に対応する薄膜形成が可能な分子線セルを提供する。【解決手段】 分子線エピタキシー装置に用いられる分子線セルには発熱体12a,12bおよび12cが設けられてあって、この発熱体12a,12bおよび12cを、ルツボ10の鍔部10a,開口部10b,および底部10cの外周壁にそれぞれ独立させ、かつ離間させて設けてある。
請求項（抜粋）：
分子線エピタキシー装置に用いられ、鍔を有するルツボおよび該ルツボの外周壁に設けられた発熱体を具えた分子線セルにおいて、前記発熱体を、前記ルツボの外周壁にそれぞれ独立させ、かつ離間させて設けてなることを特徴とする分子線セル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 23/08 M
, H01L 21/203 M
