研磨布

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-277537
公開番号（公開出願番号）：特開平7-108465
出願日： 1993年10月07日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：

【要約】【目的】金属、半導体基盤、ガラス等の精密表面研磨に使用される研磨布の品質改良を目的とする。【構成】ビニロン繊維又はビニロン繊維とセルローズ系繊維とよりなる不織布を、ポリウレタン樹脂溶液に含浸し、湿式凝固、水洗脱溶媒、乾燥して微多孔構造のポリウレタン樹脂で不織布繊維を結合、固定化した研磨布。【効果】研磨工程で、研磨布が砥粒によって摩耗される過程で、繊維と樹脂が同じ程度に摩耗されるため、研磨作用面が繊維のみになることがなく、砥粒の目づまりが発生せず、それによる研磨性能の低下、研磨傷の発生がなく、生産性の改善、製品歩溜を向上することが出来る。

請求項（抜粋）：

ビニロン繊維よりなる不織布に、ポリウレタン樹脂溶液を含浸し、湿式凝固、脱溶媒、乾燥して、微細気孔が内在する、ポリウレタン樹脂多孔体で不織布を結合、固定化することを特徴とする研磨布。

IPC (2件)：

B24D 15/04 , B24B 29/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-234475
特開平3-092273
特開平2-218562

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