特許

J-GLOBAL ID：200903094522549398

シートプラズマ装置

発明者： 酒見 俊之
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-092386
公開番号（公開出願番号）：特開平7-296988
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 シート状プラズマを用いてスパッタリングを行う際、電流ロスを少なくし、シート状プラズマを安定に生成することである。【構成】 陰極から放出される円柱状プラズマをシートプラズマにするシートプラズマ成形室と、この成形室からのシート状プラズマによってスパッタリングを行うスパッタリング室とを互いに異なる電位に維持すると共に、両者を互いに電気的に絶縁した構成を有している。

請求項（抜粋）：

陰極、陽極を備えると共に、前記陰極及び陽極間に、シートプラズマを生成するシートプラズマ成形室と、該シートプラズマ成形室に連結された表面処理室とを備え、両シートプラズマ成形室と表面処理室とは、互いに異なる電位となるように、構成されていることを特徴とするシートプラズマ装置。