特許

J-GLOBAL ID：200903094532508304

化学励起酸素よう素レーザ装置

発明者： 藤井 洋郎 ,  熱田 稔雄 ,  和仁 郁夫 ,  中林 督博
出願人/特許権者： 川崎重工業株式会社
代理人 (1件)： 塩出 真一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-072541
公開番号（公開出願番号）：特開平7-254741
出願日： 1994年03月16日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】 励起酸素発生器SOG内の圧力が励起率が高く、かつ、未反応Cl2の少ない値となる領域で、SOGを運転し、次に昇圧ブロワにより超音速発振に必要な圧力まで昇圧することができる化学励起酸素よう素レーザ装置を提供する。【構成】 アルカリ性過酸化水素水溶液と塩素ガスとを接触反応させて励起酸素を発生させる、内部圧力が10Torr以上の高圧の励起酸素発生器10と、この励起酸素発生器10からの励起酸素ガスを膨張させる超音速ノズル14と、この超音速ノズル14からのガスを導入してレーザビームを発生させるよう素レーザ共振器16と、上記各機器内を減圧状態に保持する真空ポンプ18とを主構成機器とする化学励起よう素レーザ装置において、励起酸素発生器10と超音速ノズル14との間に昇圧ブロワ22を組み込む。

請求項（抜粋）：

アルカリ性過酸化水素水溶液と塩素ガスとを接触反応させて励起酸素を発生させる励起酸素発生器と、この励起酸素発生器からの励起酸素ガスを膨張させる超音速ノズルと、この超音速ノズルからのガスを導入してレーザビームを発生させるよう素レーザ共振器と、上記各機器内を減圧状態に保持する真空ポンプとを主構成機器とする化学励起酸素よう素レーザ装置において、励起酸素発生器と超音速ノズルとの間に昇圧ブロワを組み込んだことを特徴とする化学励起酸素よう素レーザ装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-127592
  
• 特開昭62-204588
  
• 特開昭54-071596
  
• 特開昭62-125685