特許

J-GLOBAL ID：200903094539618725

マイクロブリッジ形状を有する薄膜素子

発明者： 秋山 善一
出願人/特許権者： 株式会社リコー ,  リコーエレメックス株式会社 ,  リコー精器株式会社
代理人 (1件)： 友松 英爾 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-350513
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201511
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】 第1の目的は、マイクロブリッジ形態を有する薄膜素子に於いて、ブリッジ形成にデザイン、及びブリッジ面積に制約を与えず、素子特性の向上を実現、第2の目的は、薄膜素子の作製に伴って形成される基板の孔をふさぎ、該素子の接合工程の改良を画るものである。【構成】 基板上に誘電体膜および該誘電体膜上に形成された機能性薄膜素子を有し、かつ基板が部分的に除去され、前記誘電体膜および該誘電体膜上に形成された機能性薄膜が1個または複数個のマイクロブリッジを形成した薄膜素子において、基板がSiO2を主成分とした感光性ガラスであることを特徴とする薄膜素子。

請求項（抜粋）：

基板上に誘電体膜および該誘電体膜上に形成された機能性薄膜素子を有し、かつ基板が部分的に除去され、前記誘電体膜および該誘電体膜上に形成された機能性薄膜が1個または複数個のマイクロブリッジを形成した薄膜素子において、基板がSiO2を主成分とした感光性ガラスであることを特徴とする薄膜素子。

IPC (4件)：

H01C 7/00 ,  G01F 1/68 ,  G01P 5/10 ,  H01C 1/012