特許
J-GLOBAL ID：200903094539716042
光学式エンコーダ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-176848
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043136
出願日： 1994年07月28日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【構成】 平行光を射出する光源1と、主要回折光が±1次の回折格子を有する移動格子板3と、回折角が移動格子板3の±1次回折光と等しい透過型の回折格子を有する固定格子板4と、固定格子板4の射出光を再び固定格子板4に戻す反射膜5と、移動格子板3への入射光から分離された、移動格子板からの射出光を受光する受光部6とを備えたことを特徴とする光学式エンコーダ。【効果】 格子の相対位置変化による回折光の位相変化を干渉により光量変化に変換し受光部6で検出するので、移動格子板3と固定格子板4間の距離を離したときでも、信号振幅の低下は起こらず、高精度の位置検出が可能となる。
請求項（抜粋）：
光源部と、前記光源部の射出光を入射光とし主要回折光が±1次の透過型の回折格子を有する第1格子板と、前記第1格子板の射出光を入射光とし回折角が前記第1格子板の±1次回折光と等しい透過型回折格子を有する第2格子板と、前記第2格子板の射出光を再び第2格子板に戻す反射手段と、前記第1格子板への入射光と第1格子板から射出光を分離する光束分離手段と、前記光束分離手段の射出光を入射光とする受光部とを備え、少なくとも第1格子板または第2格子板を移動可能としたことを特徴とする光学式エンコーダ。
IPC (3件)：
G01D 5/38
, G01B 11/00
, G02B 27/42
