特許

J-GLOBAL ID：200903094550230216

ブラックマスク、カラーフィルター及び液晶ディスプレイ

発明者： 吉田 一明
出願人/特許権者： エスティーアイテクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-204548
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052117
出願日： 1997年07月30日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】 製造のスループットを向上させることができるとともに波長依存性の低減されたブラックマスクを提供する。【解決手段】 本ブラックマスクは、透明基板2上に形成され、可視光を透過させる金属酸化物又は金属酸化物の混合物若しくは混晶からなる第1反射防止膜3と、第1反射防止膜3上に形成され、第1反射防止膜3に使用する金属と異なる金属の酸化物、炭化物、窒化物、酸化窒化物、酸化炭化物、窒化炭化物、及び酸化窒化炭化物の少なくとも1種を含む第2反射防止膜4と、第2反射防止膜4上に形成され、可視光を遮光する遮光膜5とを備える。

請求項（抜粋）：

ブラックマスクにおいて、透明基板上に形成され、可視光を透過させる金属酸化物又は金属酸化物の混合物若しくは混晶からなる第1反射防止膜と、前記第1反射防止膜上に形成され、前記第1反射防止膜に使用する金属と異なる金属の酸化物、炭化物、窒化物、酸化窒化物、酸化炭化物、窒化炭化物、及び酸化窒化炭化物の少なくとも1種を含む第2反射防止膜と、前記第2反射防止膜上に形成され、可視光を遮光する遮光膜と、を備えることを特徴とするブラックマスク。

IPC (5件)：

G02B 5/20 101 ,  G02B 1/11 ,  G02B 5/00 ,  G02F 1/1335 500 ,  G02F 1/1335 505

FI (5件)：

G02B 5/20 101 ,  G02B 5/00 B ,  G02F 1/1335 500 ,  G02F 1/1335 505 ,  G02B 1/10 A