特許
J-GLOBAL ID：200903094554455999
カラーコード形光学式プロフイル測定用の三角測量方法及びシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小田島 平吉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-207104
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094543
出願日： 1998年07月08日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 表面プロフィルを測定する。【解決手段】 前記軸に沿って伝搬するかなり広い波長バンド幅の入射光を提供し、異なった波長の光が前記軸から異なった距離の位置において焦点を結ぶように軸方向分散用光学系に光を通過させ、異なった位置が多色の測定区域を定め更に軸に沿った極限位置間の距離が測定範囲の深さを定め、測定区域を軸外れで画像化し、画像の強度を検知し、そして、これにより表面と測定区域との交差の座標値を決定する。
請求項（抜粋）：
対象物の表面を実質的に横切る少なくも1個の座標軸に沿って前記表面の少なくも1個の座標値を決めるための三角測量方法であって、(a)前記軸に沿って伝搬する実質的に広い波長バンド幅の入射光を提供し、(b)異なった波長の光が前記軸に関して異なった位置において焦点を結ぶように軸方向分散用光学系に光を通過させ、前記異なった位置は多色の測定区域を定めており更に前記軸に沿った極限位置間の距離が測定範囲の深さを定め、そして(c)前記測定区域を軸外れで画像化し、(d)画像の強度を検知し、そして(e)これにより表面と前記測定区域との交差の座標値を決定する諸段階を含んだ前記方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01C 3/06 A
, G01B 11/00 B
