半導体装置の作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-030586
公開番号（公開出願番号）：特開2007-180565
出願日： 2007年02月09日
公開日（公表日）： 2007年07月12日
要約：

【課題】小型で、ICチップ等の基板の実装に伴う不良を低減し、かつ、高速な、表示部を有する半導体装置の作製方法を提供する。【解決手段】絶縁表面を有する基板上に、高移動度を実現するTFT作製プロセスを用いて、半導体表示部および他の回路ブロックを一体形成する。具体的には連続発振レーザを用いた半導体活性層の結晶化プロセスを用いる。さらに、連続発振レーザによる結晶化プロセスを、高速動作が必要な回路ブロックのみに選択的に行うことによって、高い生産効率を実現する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に絶縁膜を形成し、前記絶縁膜上に第1の領域と第2の領域を有する半導体膜を形成し、前記第1の領域に連続発振レーザーを照射して熔融帯を形成し、前記熔融帯を連続的に走査することによって、前記第1の領域を結晶化し、第2の領域にパルス発振レーザーを照射して前記第2の領域を結晶化し、前記結晶化された前記第1の領域を用いて、チャネル方向が前記熔融帯の走査方向と平行となるように第1のトランジスタの活性層を形成することによって、前記第1のトランジスタを有するCPUを形成し、前記結晶化された前記第2の領域を用いて、第2のトランジスタの活性層を形成することによって、前記第2のトランジスタを有する画素回路、走査線駆動回路及び信号線駆動回路を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。

IPC (4件)：

H01L 29/786 , H01L 21/336 , G09F 9/30 , H01L 21/20

FI (4件)：

H01L29/78 627G , G09F9/30 338 , H01L21/20 , H01L29/78 612B

Fターム (137件)：

5C094AA15 , 5C094AA42 , 5C094AA53 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094DA09 , 5C094DB01 , 5C094EA10 , 5C094FB14 , 5C094HA08 , 5F110AA01 , 5F110AA04 , 5F110BB02 , 5F110BB04 , 5F110BB06 , 5F110BB07 , 5F110CC02 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD05 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD15 , 5F110DD17 , 5F110EE01 , 5F110EE02 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE09 , 5F110EE14 , 5F110EE22 , 5F110EE28 , 5F110EE30 , 5F110EE44 , 5F110EE45 , 5F110FF02 , 5F110FF04 , 5F110FF28 , 5F110FF30 , 5F110FF36 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG06 , 5F110GG13 , 5F110GG25 , 5F110GG28 , 5F110GG29 , 5F110GG32 , 5F110GG43 , 5F110GG45 , 5F110GG47 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ12 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL01 , 5F110HL02 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL06 , 5F110HL11 , 5F110HL12 , 5F110HM15 , 5F110NN03 , 5F110NN05 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN36 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5F110NN78 , 5F110PP01 , 5F110PP02 , 5F110PP03 , 5F110PP04 , 5F110PP05 , 5F110PP06 , 5F110PP10 , 5F110PP24 , 5F110PP29 , 5F110PP34 , 5F110PP35 , 5F110QQ19 , 5F110QQ23 , 5F110QQ24 , 5F110QQ25 , 5F152AA03 , 5F152AA06 , 5F152AA10 , 5F152BB02 , 5F152BB03 , 5F152CC02 , 5F152CC03 , 5F152CC04 , 5F152CC05 , 5F152CC08 , 5F152CD15 , 5F152CE05 , 5F152CE06 , 5F152CE13 , 5F152CE14 , 5F152CE16 , 5F152CE24 , 5F152CE27 , 5F152CE45 , 5F152CF18 , 5F152DD06 , 5F152DD08 , 5F152DD10 , 5F152EE09 , 5F152EE16 , 5F152FF03 , 5F152FF05 , 5F152FF06 , 5F152FF07 , 5F152FF08 , 5F152FF11 , 5F152FF21 , 5F152FF22 , 5F152FF28 , 5F152FF30 , 5F152FF36 , 5F152FF47 , 5F152FG01 , 5F152FG04 , 5F152FG12 , 5F152FG18 , 5F152FG21 , 5F152FG23 , 5F152FH03 , 5F152FH05 , 5F152FH08

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