特許
J-GLOBAL ID：200903094566974509
微粒子成分分析装置及びこの装置を用いた等価粒径測 定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-027740
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190935
出願日： 1994年02月25日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 微粒子の元素毎の大きさを等価粒径で表示することにより,半導体製造装置等においてきめ細かな管理を可能とし,ダイナミックレンジが拡大した微粒子成分分析装置及びこれを用いた分析方法を提供する。【構成】 フィルタ2上に捕集された微粒子の一部をアスピレータ3によりスキャンしながら吸引し,前記吸引した微粒子をマイクロ波を利用して原子化・イオン化して励起・発光させ,発光した波長の異なる複数の光をそれぞれ異なる波長を測定できるように測定波長が設定された複数の分光器20bに導き,その分光器の後段に配置された光電変換器20cにより電気信号に変換し,複数の元素の特定を行う微粒子成分分析装置において,前記光電変換器の後段にその光電変換器の出力の3乗根を求める手段を設け,予め球状に加工された基準及び測定対象となる元素微粒子の直径に対応した3乗根の出力比を求め,次に測定サンプル元素からの出力の3乗根を求めて前記基準元素に対する3乗根の出力比を乗じることにより,元素間感度が補正された等価粒径を得るようにした。
請求項（抜粋）：
フィルタ上に捕集された微粒子の一部をアスピレータによりスキャンしながら吸引し,前記吸引した微粒子をマイクロ波を利用して原子化・イオン化して励起・発光させ,発光した波長の異なる複数の光をそれぞれ異なる波長を測定できるように測定波長が設定された複数の分光器に導き,その分光器の後段に配置された光電変換器により電気信号に変換し,複数の元素の特定を行う微粒子成分分析装置において,前記光電変換器の後段にその光電変換器の出力の3乗根を求める手段を設け,予め球状に加工された基準及び測定対象となる元素微粒子の直径に対応した3乗根の出力比を求め,次に測定サンプル元素からの出力の3乗根を求めて前記基準元素に対する3乗根の出力比を乗じることにより,元素間感度が補正された等価粒径を得るようにしたことを特徴とする微粒子成分分析装置。
IPC (2件)：
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