特許
J-GLOBAL ID：200903094569696208
不純物定量測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-043589
公開番号（公開出願番号）：特開平10-236899
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：
【要約】【課題】 1ppm以下の窒素原子濃度を検出することのできるダイヤモンド結晶中の不純物定量測定方法を提供する。【解決手段】 予め窒素原子の濃度が既知のダイヤモンド結晶の窒素原子を、輻射遷移を伴う格子欠陥に変換し、格子欠陥からの発光強度に対する前記窒素原子の濃度の対応関係を求める。次に、ダイヤモンド結晶を形成した後、イオン注入及びアニール処理を行って、ダイヤモンド結晶に含有される窒素原子を輻射遷移を伴う格子欠陥に変換し、格子欠陥からの発光強度を測定して、求められた対応関係に基づいて窒素原子の濃度を測定する。
請求項（抜粋）：
予め窒素原子の濃度が既知のダイヤモンド結晶の窒素原子を、輻射遷移を伴う格子欠陥に変換し、該格子欠陥からの発光強度に対する前記窒素原子の濃度の対応関係を求め、形成したダイヤモンド結晶中に含有される窒素原子を、輻射遷移を伴う格子欠陥に変換し、該格子欠陥からの発光強度を測定して、前記対応関係に基づいて前記窒素原子の濃度を測定するようにしたことを特徴とする不純物定量測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 29/04 Z
, G01N 21/87
