特許

J-GLOBAL ID：200903094571519038

欠陥検査方法

発明者： 清水 敏 ,  中西 稔
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-242213
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072097
出願日： 1993年09月03日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】 周期性パターン領域または略周期性パターン領域を有する試料に対し、センサ画素とパターンの関係に起因するモアレ状のノイズによる検出感度の低下、及び、画素毎の感度バラツキに起因する検出感度の低下をなくし、欠陥検出感度を向上させた検出方法を提供する。【構成】 試料からの光を線状領域撮影手段にて得られる画像信号から、試料走行方向(副走査方向)で、試料の単位パターンの1ピッチ変化分毎にラインデータを得て、該ラインデータを順次ライン間で各画素毎に演算し、微分処理を行い、得られた微分信号をスライス処理することにより欠陥を検出する。

請求項（抜粋）：

周期性パターン領域もしくは略周期性パターン領域を有する試料を移動しながら、試料を所定の光源にて照明して、試料の走行方向に直交するように配置されたCCD等の画素分割方式の線状領域撮影装置により、試料からの光を検出して得られる信号より欠陥を検出する方法であって、線状領域撮影手段にて得られる画像信号から、試料走行方向で、試料の単位パターンの1ピッチ変化分毎に、所定数のスキヤン信号を得て、この所定数のスキヤン信号のうち数スキヤン分もしくは全スキヤン分を各画素毎に積算し、1つのラインデータを得て、順次、所定のラインデータ間で各画素毎に演算し、微分処理を行い、得られた微分信号をスライス処理することにより欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G02F 1/13 101

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-260585
  
• 特開平1-307646
  
• 特開平4-198744