カラーフィルタ検査方法およびそれに用いる検査用マスク

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-287227
公開番号（公開出願番号）：特開平9-126949
出願日： 1995年11月06日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】カラーフィルタ検査方法において、カラーフィルタの各品種毎に適した遮光マスクを作成しなければならない点を改善する。【解決手段】液晶パネルを光源と被検査基板との間に配置し、パターンの面付けおよびカラーフィルタ基板のサイズにかかわらず、カラーフィルタのパターン部分のみにおいて光源からの光を透過させ、その他の部分を遮光して検査を行う。

請求項（抜粋）：

透明基板上に所定のパターンに従ってカラーフィルタ層が形成されたカラーフィルタ、および該カラーフィルタと対向するよう置かれた光量調節のためのマスクに、光照射手段により光照射を行い、前記カラーフィルタおよびマスクを介して前記照射手段と反対側に、前記照射手段からの光を受け、前記カラーフィルタ上のパターン形状を撮像する測定手段を置き、該測定手段の測定結果から、検査手段を用いてカラーフィルタ上のパターン欠陥を検査する液晶表示装置用カラーフィルタの検査方法において、前記マスクが液晶パネルよりなり、該液晶パネルの、対向した前記カラーフィルタの光透過率の高い領域で遮光部となし、遮光部以外の領域が光透過部となるよう別途駆動手段により液晶パネルを制御することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの検査方法。

IPC (4件)：

G01M 11/00 , G01N 21/88 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

FI (4件)：

G01M 11/00 T , G01N 21/88 D , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

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