特許

J-GLOBAL ID：200903094572516814

基板処理装置

発明者： 左成 卓也
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-279619
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114138
出願日： 1998年10月01日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】 処理液の撮影系に不具合があることを検出して報知することにより、不適切な処理が基板に対して施されたことを知ることができる。【解決手段】 ノズル5から基板Wに対して供給された処理液を検出するための供給検出領域をCCDカメラ13で撮影し、その静止画像に基づき処理液の供給状態を検出して所定の処理を行う基板処理装置において、基板Wの処理に先立って、ノズル5から処理液が供給されたことを正常に撮影可能な状態で供給検出領域を撮影し、その画像を基準静止画像として予め記憶する画像メモリ25と、基板の処理時に、処理液を供給する前に撮影し、この処理時静止画像と基準静止画像とを比較して一致しているか否かを判別する画像処理部24と、その比較結果が不一致である場合にそのことを報知するモニタ29とを備える。

請求項（抜粋）：

ノズルから基板に対して供給された処理液を検出するための供給検出領域を撮影手段により撮影し、前記供給検出領域の静止画像に基づき処理液の供給状態を検出して所定の処理を行う基板処理装置において、基板の処理に先立って、前記ノズルから処理液が供給されたことを正常に撮影可能な状態で前記撮影手段により前記供給検出領域を撮影し、その画像を基準静止画像として予め記憶する記憶手段と、基板の処理時に、前記ノズルから処理液を供給する前に前記撮影手段により前記供給検出領域を撮影し、この処理時静止画像と前記基準静止画像とを比較して一致しているか否かを判別する判別手段と、前記判別手段が前記両静止画像を不一致であると判別した場合にそのことを報知する報知手段と、とを備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B05C 11/08 ,  B05C 11/10 ,  G03F 7/16 501

FI (4件)：

H01L 21/30 564 C ,  B05C 11/08 ,  B05C 11/10 ,  G03F 7/16 501

Fターム (12件)：

2H025AB16 ,  2H025EA05 ,  4F042AA07 ,  4F042BA00 ,  4F042BA12 ,  4F042BA25 ,  4F042DH09 ,  4F042EB17 ,  5F046JA02 ,  5F046JA10 ,  5F046JA16 ,  5F046JA27