特許
J-GLOBAL ID：200903094581800460
欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
二瓶 正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-207954
公開番号（公開出願番号）：特開平8-054352
出願日： 1994年08月09日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：
【要約】【目的】 固体撮像素子の出力を2値化するためのしきい値を決定するときに用いられる画像データに欠陥部分が多少含まれていても、しきい値を適切に設定することができる欠陥検査装置を提供する。【構成】 正常部分の多い物体表面の一次元画像を読み取って得られる、番号iのCCD素子e(i)の基準データをD(i)で表わし、しきい値計算用データをR1(i)、R2(i)で表わす。i=1,...,kのR1(i)及びi=N-k+1,...,NのR2(i)は番号iが同じであるD(i)に等しい。D(i)とR1(i-k)の差に応じて、R1(i-k)で決められるデータ領域からi=k+1,...,NのR1(i)が順次定められる。また、D(i)とR2(i+k)の差に応じて、R2(i+k)で決められるデータ領域からi=N-k+1,...,NのR2(i)が順次定められる。しきい値はR1(i)及びR2(i)の両方又はいずれか一方に基づき決められる。
請求項（抜粋）：
複数の固体撮像素子を有し、被検査物の表面を走査して、走査ラインにおける一次元画像を読み取り、前記固体撮像素子の各々からアナログ信号を出力するラインイメージセンサと、前記アナログ信号のレベルを前記固体撮像素子ごとに設けられたしきい値と比較して2値化することにより前記被検査物の表面の欠陥を検出する2値化手段とを有する欠陥検査装置において、前記しきい値を決定する過程で、欠陥部分に比べて正常部分の多い物体表面の一次元画像を読み取って得られる、前記しきい値を決定するための第1次基準データのうち前記固体撮像素子の少なくとも一つを含む第1集合の固体撮像素子の第1次基準データ、又は当該第1次基準データに演算を施して得られる演算結果が、当該固体撮像素子以外の固体撮像素子の第1次基準データによって決められる比較用データと比べてどの程度大きいか小さいかに応じて、当該比較用データによって決められるデータ領域のどのデータを前記しきい値を決定するための第2次基準データとするかを決め、前記第1集合の固体撮像素子ごとに前記第2次基準データを作成する第1作成手段と、前記第1集合と互いに素である第2集合の固体撮像素子の第1次基準データ、又は当該第1次基準データに演算を施して得られる演算結果が、前記第2次基準データが既に求められた固体撮像素子の第2次基準データによって決められる比較用データと比べてどの程度大きいか小さいかに応じて、当該比較用データによって決められるデータ領域のどのデータを前記第2集合の固体撮像素子の第2次基準データとするかを決め、当該第2次基準データを作成する第2作成手段と、前記第2作成手段を繰り返し用いて、前記第2集合の固体撮像素子ごとに順次、第2次基準データを求める第1繰り返し手段とを、有することを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/89
, G01N 21/88
, G06T 7/00
, G06T 5/00
G06F 15/62 400
, G06F 15/68 320 Z
