特許
J-GLOBAL ID:200903094584327650

有機質基材表面のメタライズ方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松本 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-068122
公開番号(公開出願番号):特開平6-279996
出願日: 1993年03月26日
公開日(公表日): 1994年10月04日
要約:
【要約】【目的】 有機質基材の表面に化学エッチングにより凹凸を形成したり所望の金属膜以外の材料をプリコ-トしたりすることなく、有機質基材の表面に密着強度の高い金属膜を気相成長法により形成することのできる方法を提供すること。【構成】 有機質基材表面に気相成長法により金属膜を形成するにあたり、その前、それと同時およびその後のうちの少なくとも1つの時期に光および/または電子線を前記有機質基材表面に照射することにより、この基材表面を活性化させる。
請求項(抜粋):
有機質基材表面に気相成長法により金属膜を形成するにあたり、その前、それと同時およびその後のうちの少なくとも1つの時期に光および/または電子線を前記有機質基材表面に照射することにより、この基材表面を活性化させることを特徴とする有機質基材表面のメタライズ方法。
IPC (4件):
C23C 14/20 ,  C23C 14/02 ,  C23C 14/22 ,  C23C 14/58
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 特開昭61-295365
  • 特開平3-257840
審査官引用 (2件)
  • 特開昭61-295365
  • 特開平3-257840

前のページに戻る