特許
J-GLOBAL ID：200903094599371265
露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-002956
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077114
出願日： 1993年01月12日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】光学材料の曇りによる照度低下を防止する。【構成】装置本体はチャンバー6内に設けられている。チャンバー内には空調手段7が設けられており、イオン、ガス、有機物等の不純物を除去するフィルターFLをチャンバーの空気取り込み口A1、A2、もしくは空調手段の空気取り込み口A3、A4、A5に設けた。
請求項（抜粋）：
紫外域の光を射出する光源と前記光源から射出された光をマスクに入射させる照明系部と前記マスクの像を所定の感光性物質が塗布された基板上に形成する露光部と装置全体を収納するチャンバーと前記チャンバー内を空調する空調手段とを有し、前記紫外域の光と光化学反応を引き起こす不純物を除去する不純物除去フィルターとを有し、前記不純物除去フィルターを前記チャンバー内の空気取り込み口もしくは空調手段の吸排出口に設けたことを特徴とする露光装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 311 L
, H01L 21/30 301 Z
