特許

J-GLOBAL ID：200903094602974928

感光性樹脂組成物

発明者： 栗 崎 穂 ,  原 田 隆 正 ,  工 藤 隆 範 ,  武 田 貴 志 ,  福 澤 純 一
出願人/特許権者： クラリアント ジャパン 株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-371083
公開番号（公開出願番号）：特開2000-194130
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】 透明性が高く、コントラストの高いパターンを得ることができる感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】 下記の成分を含んでなることを特徴とする感光性樹脂組成物。(1)1,2-ナフトキノンジアジド骨格と2つ以上のフェノールメチル置換誘導体からなるメチレン架橋体を構造中に有する感光剤、(2)水酸基とカルボキシル基を有するポリマー、または、水酸基を有するポリマーとカルボキシル基を有するポリマーの組み合わせ、(3)水酸基とカルボキシル基を架橋することのできる架橋剤、および(4)溶剤。

請求項（抜粋）：

下記の成分を含んでなることを特徴とする感光性樹脂組成物。(1)1,2-ナフトキノンジアジド骨格と2つ以上のフェノールメチル置換誘導体からなるメチレン架橋体を構造中に有する感光剤、(2)水酸基とカルボキシル基を有するポリマー、または、水酸基を有するポリマーとカルボキシル基を有するポリマーの組み合わせ、(3)水酸基とカルボキシル基を架橋することのできる架橋剤、および(4)溶剤。

IPC (8件)：

G03F 7/022 601 ,  C08K 5/41 ,  C08L 25/18 ,  C08L 33/04 ,  C08L101/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/022 601 ,  C08K 5/41 ,  C08L 25/18 ,  C08L 33/04 ,  C08L101/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (38件)：

2H025AA00 ,  2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB17 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002AA05W ,  4J002AA06X ,  4J002BC12W ,  4J002BE02W ,  4J002BG01X ,  4J002BG07W ,  4J002BH00X ,  4J002CD06Y ,  4J002EL027 ,  4J002EN027 ,  4J002EN037 ,  4J002EN077 ,  4J002EU197 ,  4J002EV216 ,  4J002FD14Y ,  4J002FD147 ,  4J002FD206 ,  4J002GJ02 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ00