特許
J-GLOBAL ID：200903094608294406
加速度検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-097877
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325107
出願日： 1995年03月30日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【目的】 質量部の水平方向の変位を検出し、この変位による加速度の検出誤差をなくすことにより、高精度の加速度検出を行う。【構成】 ガラス基板12に低抵抗の単結晶から形成された固定部13,13と可動部14を形成する。可動部14の質量部17は梁によって支持されているから凹部12A上に位置して矢示A方向に移動可能となっている。また、凹部12Aには可動側補助電極17Bと対向する補助電極18が形成されている。そして、可動側補助電極17Bと補助電極18との離間寸法dB の変化を静電容量として検出し、質量部17の水平方向の変位を検出し、質量部17の垂直方向の変位を補正する。これにより、矢示A方向の加速度検出を精度良く行う。
請求項（抜粋）：
絶縁基板と、該絶縁基板上に設けられ、シリコン板をエッチング加工することにより互いに分離して形成された固定部と可動部を備え、該固定部には固定電極を設け、前記可動部は加速度に応じて水平方向に変位する質量部を有し、該質量部には固定電極との間で微小隙間を介して対向するように可動電極を設け、かつ前記質量部の垂直方向変位を検出すべく該質量部と対面させて補助電極を設けてなる加速度検出装置。
IPC (2件)：
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