特許

J-GLOBAL ID：200903094619382170

機械装置、露光装置及び露光装置の運転方法

発明者： 小林 二郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 宮川 貞二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-343951
公開番号（公開出願番号）：特開平11-159571
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：

【要約】【課題】 地震発生の際に、露光装置の基礎部に取り付けられた防振パッド上に取り付けられた装置の主要部、及び主要部の支持部に流体を介して支持された主要部の可動部が脱落して装置にダメージを与えないようにする。【解決手段】 露光装置は地震の検知手段と、この検知手段の出力を利用して主要部を基礎部に固定する第一の固定手段と、可動部を支持部に固定する第二の固定手段を備えるので、地震発生の際に、第一及び第二の固定手段によってそれぞれ主要部及び可動部を固定し、脱落しないようにすることができる。

請求項（抜粋）：

主要部が基礎部から隔離された機械装置において、前記主要部を前記基礎部から隔離する防振パッドと、地震を検知する検知手段と、前記検知手段の出力を利用して前記主要部を前記基礎部に対して固定する第一の固定手段と、を備える機械装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 F ,  H01L 21/30 515 G