特許
J-GLOBAL ID：200903094632958064
酸化亜鉛単結晶の育成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-070413
公開番号（公開出願番号）：特開平6-279189
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：
【要約】【目的】 種結晶の縮小化を抑制し、効率よく結晶成長させることができるZnO単結晶の育成方法を提供する。【構成】 水熱合成法を利用したZnO単結晶の育成方法である。バッフル板を用いて育成容器内を結晶育成部と原料充填部とに区画する。バッフル板の上にZnO原料を配置して、結晶育成を行う。
請求項（抜粋）：
ZnO単結晶を水熱合成法を用いて育成するに当たり、育成容器内をバッフル板で結晶育成部と原料充填部とに区画し、この結晶育成部にZnO種結晶を配置し、原料充填部にZnO原料を充填し、且つ上記ZnO種結晶のうちの最下部に位置するZnO種結晶と上記バッフル板との間に、ZnO原料を介在させることを特徴とする酸化亜鉛単結晶の育成方法。
IPC (3件)：
C30B 29/16
, C30B 7/10
, H01L 41/18
