特許
J-GLOBAL ID：200903094652152201
ウエハ移載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-026418
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226437
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】ウエハカセット及びボ-トに設けられている棚間隔に関係なく、ウエハを同時に複数枚、又は1枚づつ移載することができるウエハ移載装置を提供する。【構成】ウエハを載置する棚を所定間隔を隔てて複数棚備えるウエハカセットと、ウエハを載置する棚を所定間隔を隔てて複数棚備え表面処理炉に搬入・搬出されるボ-トと、上記ウエハを吸着可能なペンシルと、その一端側をア-ム端部で片持ち保持する移載ロボットとを備え、上記ウエハカセットの棚から上記ボ-トの棚へまたはその逆に上記ウエハを移載するウエハ移載装置において、上記ペンシルは、昇降ペンシル22aと、往復駆動され前記昇降ペンシル22aに対して上下に並列可能の往復動ペンシル22bとからなり、上記ア-ム端部には、上記昇降ペンシル22aを駆動する昇降駆動機構41と上記往復ペンシル22bを駆動する往復駆動機構31〜34を収納する枠体30を有する。
請求項（抜粋）：
ウエハを載置する棚を所定間隔を隔てて複数棚備えるウエハカセットと、ウエハを載置する棚を所定間隔を隔てて複数棚備え表面処理炉に対して搬入・搬出されるボ-トと、上記ウエハを吸着可能なペンシルと、このペンシルの一端側をア-ム端部で片持ち保持する移載ロボットとを備え、この移載ロボットが上記ウエハカセットの棚から上記ボ-トの棚へまたはその逆に上記ウエハを移載するウエハ移載装置において、上記ペンシルは、昇降ペンシルと、往復駆動され前記昇降ペンシルに対して上下に並列可能の往復動ペンシルとからなり、上記ア-ム端部には、上記昇降ペンシルを駆動する昇降駆動機構と上記往復ペンシルを駆動する往復駆動機構を収納する枠体を有することを特徴とするウエハ移載装置。
IPC (5件)：
H01L 21/66
, B25J 9/02
, B65D 85/00
, B65H 5/26
, H01L 21/68
