レーザ発光分光分析装置および分析方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-003060
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189661
出願日： 1996年01月11日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】本発明は、必要な分析試料の量を低減することができる装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明装置は、内部に金属板を有するとともに両側面に光学窓を有するグローブボックス4と、グローブボックス内の金属板5に分析試料を滴下するマイクロピペッタ3と、レーザからのレーザ光を集光し第1光学窓7を通してグローブボックス内の金属板の分析試料に導入する第1集光レンズ12と、レーザ光の照射により発生する分析試料に含有される元素の発光スペクトルを集光し第2光学窓8を通してマルチチャンネルアナライザ10に出射する第2集光レンズ9から成り、複数の元素の発光スペクトル強度を同時に求めることにより、分析試料中の元素の濃度定量を行なうことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

(A)内部に金属板(5)を有するとともに、両側面に光学窓(7、8)を有するグローブボックス(4)と、(B)前記グローブボックス(4)内の金属板(5)に、分析試料(1)を滴下するマイクロピペッタ(3)と、(C)レーザ(6)からのレーザ光を集光し、第1光学窓(7)を通してグローブボックス内の金属板(5)の分析試料(1)に導入する第1集光レンズ(12)と、(D)前記レーザ光の照射により発生する分析試料に含有される元素の発光スペクトルを集光し、第2光学窓(8)を通してマルチチャンネルアナライザ(10)に出射する第2集光レンズ(9)から成り、複数の元素の発光スペクトル強度を同時に求めることにより、分析試料中の元素の濃度定量を行なうことを特徴とするレーザ発光分光分析装置。

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