特許

J-GLOBAL ID：200903094664127750

ファラデー・スパッタ・シールドを有する誘導結合されたプラズマリアクタ

発明者： クウォク・ファイ・ライ ,  ジョン・ドレウェリイ
出願人/特許権者： バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074686
公開番号（公開出願番号）：特開平10-055983
出願日： 1997年03月12日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】従来よりも高電力で運転可能なエッチング及び蒸着用の誘導結合プラズマ(ICP)またはトランス結合プラズマ(TCP)(ICP/TCP)リアクタを与える。【解決手段】プラズマチャンバの外部に配置されたRF付勢コイルを有する誘導結合プラズマリアクタと,誘電チャンバ内に形成され該コイルによって付勢されるプラズマと,チャンバ内の該プラズマとRFコイルとの間に配置されるスロットを有するファラデースパッタシールドが与えられる。スロットを有するファラデースパッタシールドは,RFコイルとプラズマとの間の容量結合を防止しかつ誘導結合を許して,プラズマとRFコイルとの間に見通し経路を与えないように形成される。好適には,ファラデースパッタシールドの外側面はスムースに高電気伝導度仕上げされ,内側面はプラズマ処理の最中に蒸着された物質の接着を補助するべく粗く仕上げられている。

請求項（抜粋）：

プラズマリアクタであって,内部で半導体基板が処理され,その外壁が誘電材料で作られたプラズマ閉じ込めチャンバと,前記外壁の付近に配置されたRFコイルと,前記チャンバ内の前記外壁に近接して配置されたファラデースパッタシールドであって,前記RFコイルに直角に方向付けられた複数のスロットを含み,前記チャンバ内のプラズマ形成領域と前記外壁との間のすべての見通し経路を遮るところのファラデースパッタシールドと,から成る装置。

IPC (6件)：

H01L 21/285 ,  C23C 14/34 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/31 ,  H05H 1/46

FI (6件)：

H01L 21/285 S ,  C23C 14/34 T ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/31 D ,  H05H 1/46 A