特許
J-GLOBAL ID：200903094669493665
原子間力顕微鏡およびその制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-180864
公開番号（公開出願番号）：特開平5-026645
出願日： 1991年07月22日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡に関し、特に、溝形状等の垂直に近い壁面を有する試料を安定に精度良く測定できるようにする。【構成】 レーザー7と4分割フォトダイオード9で構成した光てこによりカンチレバー6のねじれとたわみを検出し、フィードバック信号発生回路10、11により、各々が一定値になるように制御しながら走査を行い、各制御電圧の合計をコンピュータ13により画像化する。
請求項（抜粋）：
カンチレバーのねじれとたわみを検出し、前記ねじれを一定の設定値に保ちながら走査することを特徴とする原子間力顕微鏡の制御方法。
IPC (2件)：
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