特許
J-GLOBAL ID：200903094670253945
赤外線検知素子
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-298262
公開番号（公開出願番号）：特開平9-138164
出願日： 1995年11月16日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：
【要約】【課題】 サーモパイル型赤外線検知素子において、感度と応答速度の両立を図ること。【解決手段】 サーモパイル1の熱抵抗を変化させる部位をメンブレン10端ではなく、シリコン基板5上に設けられた冷接点14の極近傍に設け、冷接点14近傍の熱抵抗をメンブレン10上にある温接点13近傍の熱抵抗よりも大きくする。なお、熱抵抗を変化させるには、従来例で用いられているサーモパイル1の幅を変化させるばかりではなくサーモパイル1の厚み及び熱伝導率を変えることによっても達成できる。
請求項（抜粋）：
半導体基板上と、該半導体基板の主平面上に形成されたメンブレンと、該メンブレン下部の半導体基板の一部を除去して形成された熱分離領域と、該メンブレン上に少なくとも一つの接点Aと該半導体基板上に少なくとも一つの接点Bを有するサーモパイルを具備し該接点Aと該接点Bの温度差によって赤外線入射量を検知する赤外線検知素子において、メンブレン上の該接点A近傍の熱抵抗がもう一方の該接点B近傍に比べて低いことを特徴とする赤外線検知素子。
IPC (3件)：
G01J 5/02
, G01J 1/02
, H01L 35/32
G01J 5/02 B
, G01J 1/02 C
, H01L 35/32 A
