ポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-095163
公開番号（公開出願番号）：特開2001-343747
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】アルカリ水溶液での現像が可能、かつ感度、現像性に優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】一般式(1)で表される溶媒可溶性ポリイミドと、カルボン酸もしくはカルボン酸誘導体と、感光性オルトキノンジアジド化合物とを含有することを特徴とするポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物。【化1】(式中繰り返し単位aは3以上10000以下の整数であり、一般式中R1の1〜100モル%がフェノール性水酸基、カルボキシル基、チオフェノール基、スルホン酸基からなる群より選ばれた少なくとも一種以上の基を1個または複数個有する2価の有機基であり、0〜99モル%がフェノール性水酸基、カルボキシル基、チオフェノール基、スルホン酸基を有さない2価の有機基であり、R2は4価の有機基である。)

請求項（抜粋）：

一般式(1)【化1】(式中繰り返し単位aは3以上10000以下の整数であり、一般式中R1の1〜100モル%がフェノール性水酸基、カルボキシル基、チオフェノール基、スルホン酸基からなる群より選ばれた少なくとも一種以上の基を1個または複数個有する2価の有機基であり、99〜0モル%がフェノール性水酸基、カルボキシル基、チオフェノール基、スルホン酸基を有さない2価の有機基であり、R2は4価の有機基である。)で表される繰り返し単位を有する溶媒可溶性ポリイミド樹脂および一般式(2)【化2】(ただし式中bとcは0もしくは1以上でかつb+c≧1を満足する整数であり、R3は(b+2c)価の有機基である。)で表された少なくとも一つのカルボン酸もしくはカルボン酸誘導体を含有し、かつ感光性オルトキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 , C08K 5/09 , C08K 5/28 , C08L 79/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 , C08K 5/09 , C08K 5/28 , C08L 79/08 Z , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , H01L 21/30 502 R

Fターム (86件)：

2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J002CM041 , 4J002EF036 , 4J002EF066 , 4J002EF076 , 4J002EF096 , 4J002EF106 , 4J002EF116 , 4J002EF126 , 4J002EL136 , 4J002EL146 , 4J002EQ037 , 4J002EV247 , 4J002GP03 , 4J043PA02 , 4J043PA04 , 4J043PC066 , 4J043PC186 , 4J043QB31 , 4J043RA35 , 4J043SA06 , 4J043SA43 , 4J043SA44 , 4J043SA54 , 4J043SA62 , 4J043SA71 , 4J043SA72 , 4J043SA82 , 4J043SA83 , 4J043SA85 , 4J043SB01 , 4J043SB03 , 4J043TA22 , 4J043TA70 , 4J043TA71 , 4J043TB01 , 4J043UA022 , 4J043UA032 , 4J043UA042 , 4J043UA082 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA151 , 4J043UA672 , 4J043UB011 , 4J043UB021 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB152 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043VA011 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA031 , 4J043VA041 , 4J043VA051 , 4J043VA061 , 4J043VA062 , 4J043VA071 , 4J043VA081 , 4J043XA16 , 4J043YA06 , 4J043ZA12 , 4J043ZA15 , 4J043ZA16 , 4J043ZA46 , 4J043ZB22

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