特許

J-GLOBAL ID：200903094672875242

流量計

発明者： 恩田 浩 ,  堀口 浩幸 ,  秋山 善一 ,  田辺 誠 ,  宮地 達生 ,  大島 裕子 ,  石井 良夫 ,  高宮 敏行 ,  伊藤 茂行
出願人/特許権者： 株式会社リコー ,  リコーエレメックス株式会社 ,  リコー精器株式会社
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-239860
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094491
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：

【要約】【目的】 流量計の圧力センサの計測値の相殺を解消して感度を向上させる。【構成】 流路圧力室6,9,12の隔壁2,3の貫通孔13を遮蔽した弾性膜14の可動部上に部分的に歪センサ15,16を設ける。又は、隔壁2,3の貫通孔13を遮蔽した弾性高分子圧電膜の可動部上に部分的に電極膜を形成する。

請求項（抜粋）：

流量を測定する流体が流動する流路圧力室と所定圧力の媒体が位置する基準圧力室とを形成する隔壁を設け、この隔壁に形成した貫通孔を伸縮自在な弾性膜で遮蔽し、この弾性膜の可動部上に部分的に歪センサを設けたことを特徴とする流量計。