特許
J-GLOBAL ID：200903094675776318

熱式空気流量計及び熱式空気流量計用の測定素子

発明者：
山田 雅通

山田 雅通 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-005291
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197305
出願日： 1997年01月16日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】低コストで湿度補正が可能で計測精度の良い熱式空気流量計を提供する。【解決手段】熱式空気流量計は、発熱抵抗体3及び温度補償抵抗体4と,発熱抵抗体3と端子電極8間の湿度センサ5と,を半導体基板2上に電気絶縁膜を介して形成した測定素子1と、測定素子1に電流を供給し空気流量信号を検出する駆動検出回路手段15aと、測定素子1の空気流量信号から空気流量を演算する制御回路15bと、空気流量-湿度特性の補正データを記憶しているメモリ15cとを含み構成し、制御回路15bが、湿度センサ5を用いて検出した湿度と補正データとから、空気流量を補正するものである。
請求項（抜粋）：
空気流量を計測するための発熱抵抗体等が形成された同じ基板上に形成した湿度センサを有する熱式空気流量計用の測定素子と、該測定素子に電流を供給し空気流量信号を検出する駆動検出回路と、該空気流量信号から空気流量を演算する制御回路と、空気流量-湿度特性の補正データを記憶しているメモリとを備え、前記制御回路は、前記湿度センサを用いて検出した湿度と前記補正データとから、前記空気流量を補正することを特徴とする熱式空気流量計。
引用特許：
審査官引用 (2件)

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