特許

J-GLOBAL ID：200903094680471622

レジスト膜画像の除去方法とレジスト除去用接着材料

発明者： 橋本 浩一 ,  並河 亮 ,  近田 縁
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 祢▲ぎ▼元 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-166980
公開番号（公開出願番号）：特開平10-008267
出願日： 1996年06月27日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：

【要約】【課題】 物品上のレジスト膜画像をそのサイズに左右されることなく確実に除去する、とくに微小サイズのレジスト膜画像を高い除去率で除去する。【解決手段】 レジスト膜画像が存在する物品上に接着剤層を設け、この接着剤層が硬化型であるときはこれを硬化させたのち、この接着剤層とレジスト材とを物品上から一体に剥離するにあたり、接着剤層として重量平均分子量1万〜200万の接着性ポリマ-を用いて、1ブロツクの大きさが厚さ5μm以下、面積100mm2 以下となる微小サイズのレジスト膜画像を95%以上、通常100%またはこれに近い値となる高い除去率で除去する。

請求項（抜粋）：

レジスト膜画像が存在する物品上に接着剤層を設け、この接着剤層が硬化型であるときはこれを硬化させたのち、この接着剤層とレジスト材とを物品上から一体に剥離するにあたり、接着剤層として重量平均分子量1万〜200万の接着性ポリマ-を用いて、1ブロツクの大きさが厚さ5μm以下、面積100mm2 以下となる微小サイズのレジスト膜画像を95%以上の除去率で除去することを特徴とするレジスト膜画像の除去方法。

IPC (8件)：

C23F 1/00 104 ,  C09J 4/06 JBH ,  C09J 7/00 JHK ,  C09J 7/00 JLJ ,  C09J201/00 JAQ ,  G03F 7/34 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06

FI (8件)：

C23F 1/00 104 ,  C09J 4/06 JBH ,  C09J 7/00 JHK ,  C09J 7/00 JLJ ,  C09J201/00 JAQ ,  G03F 7/34 ,  H05K 3/06 C ,  H01L 21/30 572 Z