特許
J-GLOBAL ID：200903094681773983
トータルパルスエネルギー積算量検出によるレーザ加工補償システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-123540
公開番号（公開出願番号）：特開平9-308977
出願日： 1996年05月17日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：
【要約】【課題】 1回のレーザ加工毎にパルスエネルギーをモニタリングできるようにしてパルスエネルギーが低下した場合にはこれを補償できるようなレーザ加工補償システムを提供する。【解決手段】 1個当たりのパルスエネルギーを検出するためのエネルギーモニタ18をパルスレーザ光の光路に設ける。エネルギー比較回路19は、加工条件に応じて設定される1回の加工当たりのパルス数で決まるエネルギーに関するスレッシュホールド値を設定することができ、設定されたスレッシュホールド値と前記エネルギーモニタで検出されたパルスエネルギーの前記1回の加工当たりのパルス数分の積算値とを比較して積算値の方が低い時に検出信号を出力する。トリガパルス発生器21は、エネルギー比較回路からの検出信号を受けるとレーザ発振器11にトリガパルスを出力して該レーザ発振器から追加のパルスレーザ光を発生せしめる。
請求項（抜粋）：
レーザ発振器からのパルスレーザ光により加工を行うレーザ加工装置において、前記パルスレーザ光を導く光路に設けられて1個当たりのパルスエネルギーを検出するためのエネルギーモニタと、加工条件に応じて設定される1回の加工当たりのパルス数で決まるエネルギーに関するスレッシュホールド値を設定することができ、設定されたスレッシュホールド値と前記エネルギーモニタで検出されたパルスエネルギーの前記1回の加工当たりのパルス数分の積算値とを比較して前記積算値の方が低い時に検出信号を出力するエネルギー比較部と、このエネルギー比較部からの検出信号を受けると前記レーザ発振器にトリガパルスを出力して該レーザ発振器から追加のパルスレーザ光を発生せしめるトリガパルス発生部とを含むことを特徴とするレーザ加工補償システム。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B23K 26/00 N
, B23K 26/00 H
, H05K 3/00 N
