特許

J-GLOBAL ID：200903094690395703

表示装置の製造方法

発明者： 米原 隆夫 ,  坂口 清文
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 西山 恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-024172
公開番号（公開出願番号）：特開2002-229473
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】 表示領域及び周辺回路領域に用いられる薄膜化された半導体装置、及びその製造方法を提供する。【解決手段】 スイッチング素子109を有する第1の領域111、及び周辺回路108を有する第2の領域112を備えた半導体膜110を分離層100上に有する部材120を用意する工程、該第1の領域111上に画像表示部113を形成する工程、及び該第1及び第2の領域を該部材から分離する分離工程を有する表示装置の製造方法。

請求項（抜粋）：

スイッチング素子を有する第1の領域、及び周辺回路を有する第2の領域を備えた半導体膜を分離層上に有する部材を用意する工程、該第1の領域上に画像表示部を形成する工程、及び該第1及び第2の領域を該部材から分離する分離工程を有する表示装置の製造方法。

IPC (7件)：

G09F 9/00 348 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/205 ,  H01L 27/12 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (8件)：

G09F 9/00 348 C ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/205 ,  H01L 27/12 B ,  H01L 29/78 612 B ,  H01L 29/78 626 C ,  H01L 29/78 627 D

Fターム (64件)：

2H092HA04 ,  2H092JA24 ,  2H092MA05 ,  2H092MA07 ,  2H092MA24 ,  2H092MA27 ,  2H092PA01 ,  2H092PA06 ,  2H092QA07 ,  5C094AA15 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA14 ,  5C094DA15 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5F045AA03 ,  5F045AB02 ,  5F045AC05 ,  5F045AD13 ,  5F045AE25 ,  5F045AF03 ,  5F045HA16 ,  5F110AA23 ,  5F110AA30 ,  5F110BB03 ,  5F110BB05 ,  5F110BB09 ,  5F110CC02 ,  5F110DD05 ,  5F110DD30 ,  5F110EE09 ,  5F110GG02 ,  5F110GG04 ,  5F110GG12 ,  5F110GG24 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110GG44 ,  5F110HJ13 ,  5F110HL03 ,  5F110HL07 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN62 ,  5F110NN66 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ16 ,  5F110QQ30 ,  5G435AA18 ,  5G435BB05 ,  5G435BB06 ,  5G435BB11 ,  5G435BB12 ,  5G435EE33 ,  5G435EE37 ,  5G435KK05