特許
J-GLOBAL ID：200903094695109687
電磁界シミュレータおよび電磁界シミュレートプログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大菅 義之
, 久木元 彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-262447
公開番号（公開出願番号）：特開2008-082849
出願日： 2006年09月27日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：
【課題】基板に光が入射して反射する一般的な解析モデルについて、強度一様な入射光を設定する事が可能な電磁界シミュレータおよび電磁界シミュレートプログラムを提供すること。【解決手段】ある時刻における3次元空間の電磁界の分布を用いて、次の時刻における電磁界の空間分布を算出することを繰り返す電磁界シミュレータであって、前記3次元空間全体について電界の分布および磁界の分布を算出する3次元電磁界算出部と、前記3次元空間を平面で切断した切断面において、2次元空間の電界の分布および磁界の分布を算出する2次元電磁界算出部と、前記2次元電磁界算出部の計算結果を、電磁波を発生するための励振条件として設定する波源設定部と、前記波源設定部に設定された励振条件に基づいて、前記3次元空間の一部の電界と磁界を強制振動させて電磁波を発生させる波源生成部とを備える。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
ある時刻における3次元空間の電磁界の分布を用いて、次の時刻における電磁界の空間分布を算出することを繰り返す電磁界シミュレータにおいて、
前記3次元空間全体について電界の分布および磁界の分布を算出する3次元電磁界算出部と、
前記3次元空間を平面で切断した切断面において、2次元空間の電界の分布および磁界の分布を算出する2次元電磁界算出部と、
前記2次元電磁界算出部の計算結果を、電磁波を発生するための励振条件として設定する波源設定部と、
前記波源設定部に設定された励振条件に基づいて、前記3次元空間の一部の電界と磁界を強制振動させて電磁波を発生させる波源生成部と、
を備えることを特徴とする電磁界シミュレータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R29/08 Z
, G06F19/00 110
