特許

J-GLOBAL ID：200903094703150950

表面弾性波素子

発明者： 中幡 英章 ,  桧垣 賢次郎 ,  藤井 知 ,  八郷 昭広 ,  鹿田 真一
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-210105
公開番号（公開出願番号）：特開平8-065088
出願日： 1994年09月02日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 表面弾性波素子の高周波化および省電力化・小型化のために、表面弾性波の伝搬速度Vおよび電気機械結合係数(K2 )を共に改良する。【構成】 ダイヤモンドと、該ダイヤモンド上に配置された櫛型電極と、該櫛型電極上に配置されたLiTaO3 層とを少なくとも含み、且つ1次モードの表面弾性波(波長:λμm)を利用する表面弾性波素子であって;前記LiTaO3層の厚さをt1 (μm)とした際に、kh1 =2π(t1 /λ)が0.4≦kh1 ≦1.2の範囲にある表面弾性波素子。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンドと、該ダイヤモンド上に配置された櫛型電極と、該櫛型電極上に配置された多結晶C軸配向性のLiTaO3 層とを少なくとも含み、且つ1次モードの表面弾性波(波長:λμm)を利用する表面弾性波素子であって;前記LiTaO3 層の厚さをt1 (μm)とした際に、kh1 =2π(t1 /λ)が0.4≦kh1 ≦1.2の範囲にあることを特徴とする表面弾性波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/145 ,  H03H 9/25