特許

J-GLOBAL ID：200903094713954063

スパッタリングターゲット

発明者： 渡▲邊▼ 裕之
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-188154
公開番号（公開出願番号）：特開平11-029858
出願日： 1997年07月14日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】 使用効率に優れたスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】 ターゲット本体のエロージョン部の裏面に絶縁膜を形成したもの。

請求項（抜粋）：

DCスパッタリングに用いるスパッタリングターゲットであって、導電性材料からなるターゲット本体を導電性のバッキングプレートに導通状態を保ったまま接合した構造を有し、ターゲット本体のエロージョン部分のバッキングプレートとの接合面側に電気絶縁性材料からなる絶縁膜を設けたことを特徴とするスパッタリングターゲット。