特許
J-GLOBAL ID：200903094715908689
表面粗さ測定評価方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯沼 義彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-350655
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178470
出願日： 1995年12月22日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 表面粗さの状態を正確に表現できるようにする。【解決手段】 表面粗さ測定評価装置は、測定物1の平均的な表面に直交する断面2の輪郭3に追従するようにして測定物1の表面上を摺接する触針4を、測定物1の上記平均的な表面に沿って移動させることにより、断面2の輪郭形状を検出する断面形状検出器5と、断面形状検出器5により検出された断面2の輪郭形状から断面曲線を読み取る断面曲線読取器6と、同断面曲線読取器6が読み取った断面曲線を関数曲線とする関数のフーリエ変換を演算し、同フーリエ変換のスペクトルを算出するフーリエ解析器7と、同フーリエ解析器7により算出された上記スペクトルを可視化して表示するスペクトル表示装置8とを備える。
請求項（抜粋）：
測定物の平均的な表面に直交する断面の輪郭を断面曲線の形で検出し、同断面曲線を関数曲線とする関数のフーリエ変換を求め、同フーリエ変換のスペクトルを分析することにより、上記測定物の表面粗さの状態を判定することを特徴とする、表面粗さ測定評価方法。
IPC (2件)：
G01B 21/30 102
, G01B 5/28 102
G01B 21/30 102
, G01B 5/28 102 Z
