特許

J-GLOBAL ID：200903094717641264

焼結タンタルペレットおよび焼結ニオブペレットの窒素ド-ピング方法

発明者： ユーリ エル.ポズディーブ-フリーマン
出願人/特許権者： ヴィシャイ スプレイグ,インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 飯田 伸行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-048178
公開番号（公開出願番号）：特開2000-091165
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【課題】 焼結タンタルペレットおよび焼結ニオブペレットの酸素含有率を低くする方法を提供することである。【解決手段】 タンタルペレットおよびニオブペレットを窒素ドーピングする方法において、これらペレット外面に生じる窒化物の析出を実質的に抑える。この方法では、窒素ガス雰囲気中で約600〜1,400°Cの温度にペレットを加熱してから、真空中で加熱して、ペレットに接触する窒素をペレットの内部に拡散して、窒化物の析出を抑える。得られたペレットは、従来方法で窒素をドーピングしたタンタルペレットおよびニオブペレットに比較して、DCL安定性および信頼性が改善されている。

請求項（抜粋）：

窒素ドーピングタンタルペレット及び/又は窒素ドーピングニオブペレットの製造方法において、内部と外側層をもち、そして温度が約600°C〜約1,400°Cのペレットを、窒素がペレットの外側層から内部に拡散するのに十分な時間、無酸素雰囲気中で窒素に接触させるさいに、タンタルおよびニオブからなる群から選択した粒子で上記ペレットを構成する窒素ドーピングタンタルペレット及び/又は窒素ドーピングニオブペレットの製造方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭53-049255
  
• 特開昭53-049255
  
• 特開昭53-049255