特許
J-GLOBAL ID：200903094718866146
レーザ装置および投影露光装置、並びにパルスレーザ発振方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-029589
公開番号（公開出願番号）：特開平11-008430
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】 高周期でスイッチングする場合、数キロボルトという高電圧でもって、パルス状の高電圧を数キロヘルツの繰り返しで発生させる電源を入手することは、大変困難であり、実現するの大変難しい。そこで、本発明では、新たな方式でQスイッチを構成するレーザ装置を得ることを目的とする。【解決手段】 本発明では、少なくとも第1の反射面と第2の反射面とを有し、第1の反射面及び第2の反射面とで反射された光の光路中にレーザ媒体が設けられ、第2の反射面からレーザ光を出力するレーザ共振器とを有し、更にレーザ共振器のレーザ発振可能な周波数と一致した共振周波数を有する状態と、レーザ共振器のレーザ発振可能な周波数とはいずれとも異なる共振周波数を有する状態とをなしレーザ共振器の損失を可変させるレーザ共振器損失可変手段とを備え、レーザ共振器可変手段は、第1の反射面及び第2の反射面から反射された光の光路中に設けた。
請求項（抜粋）：
少なくとも第1の反射面と第2の反射面とを有し、前記第1の反射面及び前記第2の反射面から反射される光の光路中にレーザ媒体が設けられ、前記第2の反射面からレーザ光を出力するレーザ共振器と、前記レーザ共振器のレーザ発振可能な周波数と一致した共振周波数を有する状態と、前記レーザ共振器のレーザ発振可能な周波数とはいずれとも異なる共振周波数を有する状態とを生成し、レーザ共振器の損失を可変させるレーザ共振器損失可変手段とを備え、前記レーザ共振器可変手段は、前記第1の反射部と前記第2の反射部との間に設けられていることを特徴とするレーザ装置。
IPC (5件)：
H01S 3/115
, G02B 1/02
, G02F 1/03 505
, G02F 1/37
, H01S 3/08
H01S 3/115
, G02B 1/02
, G02F 1/03 505
, G02F 1/37
, H01S 3/08 Z
