特許
J-GLOBAL ID：200903094719811663
半導体圧力センサの出力増幅温度補償回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-186759
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034471
出願日： 1992年07月14日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】 回路構成が簡単であり、集積化圧力センサにおける出力増幅温度補償回路として好適の半導体圧力センサの出力増幅温度補償回路を提供することを目的とする。【構成】 ピエゾ抵抗素子1〜4からなる半導体圧力センサ素子の出力は演算増幅器5,6の非反転入力端に与えられる。この演算増幅器5の出力端は出力端子7及び抵抗素子R21の一端に接続されており、反転入力端は抵抗素子R21の他端、抵抗素子R0 の一端及び抵抗素子R11の一端に接続されている。また、演算増幅器6の出力端は抵抗素子R11の他端及び抵抗素子R12の一端に接続されており、反転入力端は抵抗素子R12の他端、抵抗素子R0 の他端及び抵抗素子R22の一端に接続されている。更に、この抵抗素子R22の他端は出力端子8に接続されている。抵抗素子R11,R12,R21,R22はいずれも拡散抵抗であり、抵抗素子R0 はその抵抗値をトリミング調整した薄膜抵抗である。
請求項（抜粋）：
半導体圧力センサ素子の第1及び第2の出力端から出力された信号が夫々その非反転入力端に与えられる第1及び第2の演算増幅器と、この第1の演算増幅器の出力が与えられる第1の出力端子と、前記第1の演算増幅器の反転入力端と前記第2の演算増幅器の出力端との間に接続された第1の抵抗素子と、前記第2の演算増幅器の出力端及び反転入力端間に接続された第2の抵抗素子と、前記第1の演算増幅器の出力端及び反転入力端間に接続された第3の抵抗素子と、前記第2の演算増幅器の反転入力端と第2の出力端子との間に接続された第4の抵抗素子と、前記第1の演算増幅器の反転入力端と前記第2の演算増幅器の反転入力端との間に接続された第5の抵抗素子とを有し、前記第1乃至4の抵抗素子はいずれも半導体基板表面に不純物を拡散して形成された拡散抵抗からなることを特徴とする半導体圧力センサの出力増幅温度補償回路。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, G01L 19/04
