光情報記録媒体の製造方法および製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-249493
公開番号（公開出願番号）：特開平10-097738
出願日： 1996年09月20日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】小さな信号ピットを形成するために紫外線レーザーが必要だが、原盤製造の安定性が低下するという欠点がある。【解決手段】基板上に形成されたカルコゲン化合物の結晶状態の差によるエッチレート差を用いて、カルコゲン化合物の特定の結晶状態の部分を選択的に除去する。カルコゲン化合物はレーザー光の熱によって記録されるので、同じ大きさの光スポットに対して、フォトレジストを用いるより小さな信号ピットを記録することができ、原盤記録に短い波長の光源を用いなくとも高密度な情報媒体を供給することができる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成されたカルコゲン化合物の結晶状態の差によるエッチレート差を用いて、カルコゲン化合物の特定の結晶状態の部分を選択的に除去してなる光情報記録媒体原盤を用いることを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。

IPC (2件)：

G11B 7/26 501 , G11B 7/00

FI (2件)：

G11B 7/26 501 , G11B 7/00 L

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭60-045956
特表平4-506430
特開平2-161618

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