特許

J-GLOBAL ID：200903094723505941

マイクロリレー

発明者： 平田 進 ,  乾 哲也 ,  石井 頼成 ,  的場 宏次 ,  山下 善二郎 ,  太田 賢司
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-197354
公開番号（公開出願番号）：特開平7-057603
出願日： 1993年08月09日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】 消費電流が小さくかつ広い温度範囲で使用可能な小型のマイクロリレーを提供する。【構成】 本発明に従うマイクロリレーは、永久磁石120を挟んで対向する位置に2組の固定接点110a・110b,110c・110dが設けられたフェライト基板150上に、枠部210に連結部230を介して支持される可動部220が接合されてなる。可動部220は、シリコンから構成される基体部260がパーマロイから構成される磁性体層240,250に挟み込まれてなり、磁性体層240,250上には、連結部230を中心として対向する位置に2組のヒータ対271L・272R,271R・272Lが設けられ、ヒータ272L,272R上には2組の可動接点222L,222Rが設けられている。

請求項（抜粋）：

複数組の固定接点が設けられたフェライト基板と、前記固定接点に対応する複数組の可動接点が設けられた可動部とを具備してなるマイクロリレーであって、前記可動部は、前記基板上に設けられた枠体に連結部を介して支持されるものであり、かつ前記可動部は、前記枠部に連結され、前記枠部と同一材料で構成される基体部と、前記基体部の対向する一対の主表面上に設けられ、前記基体部よりも線膨張係数の大きい材料で構成される一対の磁性体層と、前記磁性体層のそれぞれにおいて、前記連結部を中心として対向する位置に設けられる2組のヒータ対と、前記ヒータ上に設けられる前記可動接点とを備え、前記固定接点が設けられたフェライト基板には、前記連結部を中心とした前記可動部の変位を保持するための永久磁石が設けられていることを特徴とする、マイクロリレー。