特許
J-GLOBAL ID：200903094724587534
プラズマ処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-031453
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198659
出願日： 1992年01月22日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 プラズマ処理装置におけるウェハ移載ロボットの動きと構造を簡単なものにする。【構成】 カセット載置台3はベース11に立設した支柱12内にモータ13にて回転せしめられるスクリューシャフト14を配置し、このスクリューシャフト14に昇降部材16を螺合せしめ、スクリューシャフト14の回転により昇降部材16を昇降せしめ、また昇降部材15の下面のギヤボックス18外側に固着したモータ19の回転を駆動プーリ20、タイミングベルト21及び被動プーリ22を介してギヤボックス18内のウォーム23に伝達し、更にウォーム23の回転をこれと噛合するウォームギヤ24に伝達し、ウォームギヤ24の軸25を回転せしめ、この軸25にプレート27をネジ止めし、モータ19の駆動により反応チャンバー4の方向を向くように設定している。
請求項（抜粋）：
搬送ラインとの間でウェハを収納したカセットの授受を行なうカセット載置台と、プラズマ雰囲気でウェハに各種処理を施す反応チャンバーと、反応チャンバーとカセットとの間でのウェハの移載を伸縮動するアームで行なうロボットを備えたプラズマ処理装置において、前記載置台は搬送ラインと直交する方向と反応チャンバーを向く方向との間で回動可能とされていることを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B25J 9/04
, C23C 14/56
, C23F 4/00
, C30B 25/12
