特許
J-GLOBAL ID：200903094725598068
マイクロ波集積回路とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-232841
公開番号（公開出願番号）：特開平5-075345
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】 本発明は移動体通信などに用いる高周波回路に関するもので、特に小型、軽量で、高周波特性ならびに量産性に優れたマイクロ波集積回路特に電圧制御発振器の構造とその製造方法を提供することを目的とする。【構成】 能動素子を有するGaAs基板と電気音響素子としての水晶板を、酸化珪素もしくは珪素膜を用いて直接接合することによって、一体集積化構造とした構成の電圧制御発振器などのマイクロ波集積回路。
請求項（抜粋）：
GaAs基板上に形成した酸化珪素膜によって、GaAs基板に水晶板が直接接合されており、前記GaAs基板部分に少なくとも能動素子を、前記水晶板部分に電気音響素子を有することを特徴とするマイクロ波集積回路。
IPC (2件)：
引用特許：
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