特許

J-GLOBAL ID：200903094725800258

反射鏡の製造方法又は反射型照明装置又は半導体露光装置

発明者： 瀧野 日出雄 ,  柴田 規夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-267312
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162414
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、設計通りの反射面形状を有する多光源形成反射鏡を歩留まり良く製造できる製造方法を提供することを第1の目的にし、更には、よりスループットの高い半導体露光装置を得ることを第2の目的にしている。【解決手段】 本発明では、所定の曲面の一部を面形状とする要素反射面を複数形成し、所定の位置に配置してなる反射鏡の製造方法であって、複数の基板を用意し、各基板に要素反射面を一列づつ加工して要素反射面列25、26、27を形成し、要素反射面列25、26、27が形成された基板同士を接合する工程を有することとした。

請求項（抜粋）：

所定の曲面の一部を面形状とする要素反射面を複数形成し、所定の位置に配置してなる反射鏡の製造方法であって、複数の基板を用意し、各基板に前記要素反射面を一列づつ加工して要素反射面列を形成し、前記要素反射面列が形成された基板同士を接合する工程を有することを特徴とする多面反射鏡の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 5/10 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G02B 5/10 C ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 517 ,  H01L 21/30 531 A