特許
J-GLOBAL ID：200903094730421575
レーザ非接触歪み計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-112715
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297010
出願日： 1996年05月07日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 二光束法を用いた電子式スペックル干渉法に基づく歪み計における歪みの算出周期を、従来のこの種の装置における周期に比して大幅に短くすることができ、引張試験や振動試験等のより高速の歪みの計測にも十分に適用可能なレーザ非接触歪み計を提供する。【解決手段】 試料Wからの散乱光に含まれるスペックルパターンを、1次元イメージセンサ21で検出し、かつ、その1次元イメージセンサ21をそのフレーム周期より長い周期でチャンネル列に直交する方向に振動させ、その振動中に得られる複数のフレームデータで2次元状の画像を得て、演算部30による歪みの算出に供することで、歪み算出周期を高速化し、高応答の歪み計を得る。
請求項（抜粋）：
レーザビームをビームスプリッタによって2つの光路に分岐させた後、被測定試料の表面上に当該試料の変形方向に所定の角度を持たせて照射する照射光学系と、そのレーザビームの試料による散乱光に含まれるスペックルパターンを検出するための光検出手段と、その光検出手段からの出力を用い、互いに異なる時点で得られた2つの画像によってできる干渉縞パターンからその時点間の試料の歪み分布を算出する演算手段を備えた歪み計において、上記光検出手段が、試料の変形方向にチャンネル列が沿うように配置された1次元イメージセンサと、その1次元イメージセンサに対し、そのフレーム周期より長い周期で、当該イメージセンサの受光面に略沿った平面上で、かつ、そのチャンネルの配列方向に直交する方向への振動を与える振動付与機構によって構成されているとともに、上記演算手段は、その1次元イメージセンサの振動中の異なる位置で得られる複数のフレームデータを一つの画像データとして、歪み分布の算出に供することを特徴とするレーザ非接触歪み計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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