特許

J-GLOBAL ID：200903094746091915

微小穴開きガラス及びその製造方法

発明者： 近藤 裕己 ,  平尾 一之
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団 ,  近藤 裕己
代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-118965
公開番号（公開出願番号）：特開2000-313629
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【目的】 材料内部に形成された微結晶析出域をエッチング除去して微小穴を開けた機能ガラスを得る。【構成】 金属イオンを含むガラス材料4の内部に集光点3が位置するように集光したパルスレーザ光1でガラス材料4を照射し、ガラス材料4内部で集光点3を相対移動させすることにより所定パターンの変質域を生成させる。レーザ照射後のガラス材料4を熱処理すると、変質域を核として微結晶が析出した領域5がガラス材料内部に選択的に形成される。微結晶析出域5をエッチング除去すると、内部に所定パターンで微小穴6の開いたガラスが得られる。

請求項（抜粋）：

パルスレーザ光の集光照射による金属イオンの還元反応で生成した変質域を核とする微結晶析出域がエッチング除去され、微結晶析出域の跡に微小穴が材料内部に所定パターンで形成されている微小穴開きガラス。

IPC (3件)：

C03B 23/00 ,  C03C 15/00 ,  C03C 23/00

FI (4件)：

C03B 23/00 ,  C03C 15/00 F ,  C03C 15/00 Z ,  C03C 23/00 Z

Fターム (7件)：

4G059AA14 ,  4G059AA15 ,  4G059AB01 ,  4G059AB05 ,  4G059AC01 ,  4G059BB04 ,  4G059BB14