特許
J-GLOBAL ID：200903094748020772
半導体振動ジャイロセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安孫子 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-050052
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230760
出願日： 1998年02月17日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 一つのセンサで角速度と加速度の計測が可能で、しかも量産性に富む半導体振動ジャイロセンサを提供する。【解決手段】 第1及び第2の駆動電極19,20に所定の励振信号を印加すると、第1乃至第4の錘10a〜10dが音叉振動子と同様な状態で振動し、その際、ダイアフラム12の面に直交する方向に沿う軸を中心とした角速度が作用すると、第1及び第2の角速度検出電極21,22における静電容量変化として角速度の計測ができる。また、ダイアフラム12と加速度検出電極23との間隙が変化するような加速度が生ずると、加速度検出電極23における静電容量変化として、加速度の計測ができるようになっている。
請求項（抜粋）：
半導体部材から形成されたダイアフラムと、前記ダイアフラムに対向して設けられ、所定の励振信号がそれぞれ印加される2つの駆動電極と、前記ダイアフラムに対向して設けられ、前記ダイアフラムとの間の静電容量が検出される2つの角速度検出用電極と、前記ダイアフラムの前記2つの駆動電極及び前記2つの角速度検出用電極との対向面と反対側の面上に設けられた4つの錘とを具備してなり、前記2つの駆動電極にそれぞれ励振信号が印加された状態において、前記ダイアフラムと前記2つの駆動電極及び前記2つの角速度検出用電極との対向方向に対して直交する方向に沿った軸を中心に回転力が作用した際における前記2つの角速度用検出電極と前記ダイアフラムとの間に得られる静電容量の変化に基づいて角速度を計測可能としたことを特徴とする半導体振動ジャイロセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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