特許
J-GLOBAL ID：200903094753024549
積層型非晶質太陽電池の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鳥居 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-041117
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236795
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【目的】 この発明は、装置コストの低減ならびに省スペース化が可能な積層型非晶質太陽電池の製造装置を提供することをその目的とする。【構成】 この発明は、pin構造を垂直方向に複数段積層してなる積層型非晶質太陽電池の製造装置において、センター真空チャンバ(1)の4つの側面に、このセンター真空チャンバ(1)の容積の2分の1以下で、かつ上下に位置する2つの真空チャンバ(2〜9)を各々配置したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
pin構造を垂直方向に複数段積層してなる積層型非晶質太陽電池の製造装置において、センター真空チャンバの4つの側面に、このセンター真空チャンバの容積の2分の1以下で、かつ上下に位置する2つの真空チャンバを各々配置したことを特徴とする積層型非晶質太陽電池の製造装置。
IPC (3件)：
H01L 31/04
, H01L 21/205
, C23C 16/50
H01L 31/04 T
, H01L 21/205
, C23C 16/50
, H01L 31/04 W
